»genius« 技术参数

最大刀具长度 Z 600 毫米
最大刀具直径 D 400/260 mm
最大沟槽量规直径 d 100 mm
轴数 5–6
重量 ~ 820 kg

应用

2D参数 入射光    
标准直径 2–100 mm 基本配置  
微型刀具 0.1–10 mm 可选  
3D 参数 入射光    
局部 基本配置  
面积 基本配置  
测量任务    
螺纹刀具 可选  

传感器配置

透射光  
透射光相机 HR70,视野范围约 4.0 x 3.6 平方毫米 基本配置
透射光相机 500 万像素,视野范围约 4.4 x 4.0 平方毫米 可选
透射光相机 WF,视野范围约 15.5 x 14.1 mm² 可选
入射光  
HR50标准入射光相机,视野范围约1.1 x 1.0 mm² 基本配置
HR50 Micro入射光相机,视野范围0.4 x 0.4 mm² 可选
接触式  
扫描探针 可选

测量设备配置

主轴    
高精度主轴 »ace« 标准配置  
高精度主轴 SK 50 可选  
ROD 标准配置  
空心编码器 可选  
线性驱动器    
入射光旋转轴 标准配置  
入射光与透射光旋转轴 标准配置  
光学驱动    
入射光旋转轴 标准配置  
入射光与透射光旋转轴 可选  
减震    
机脚调平元件 标准配置  
主动减震 可选配置  
材料    
轻合金 标准配置  

精度

Exy = 2.5 μm + (L/250 mm) μm 基本配置
Ex = 1.5 μm + (L/300 mm) μm 基本配置