センサー設定
| 光学透過型 | ||
| 透過型カメラ HR70、有効視野（BF）約 4.0 × 3.6 mm² | 基本モデル | |
| 透過型カメラ 5 Mpx、有効視野（BF）約 5.5 × 5.0 mm² | オプション | |
| 透過型カメラ WF、有効視野（BF）約 15.5 × 14.1 mm² | オプション | |
| 光学反射型 | ||
| 反射型カメラ HR70 スタンダード、有効視野約 1.1 x 1.0 mm² | 基本モデル | |
| 反射型カメラ HR70 マイクロ、有効視野約 0.4 x 0.4 mm² | オプション | |
| »zep«センサー（切縁処理） | オプション | |
| »zep«-»R«センサー（切縁処理／粗さ） | オプション | |
| »Z3dCam«センサー（デジタル化） | オプション | |
| 接触式 | ||
| スキャン式プローブ | オプション |
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